高电子移动晶体管(HEMT)的教程

HEMT或高电子移动晶体管是a场效应晶体管(FET)的类型,用于在微波频率下提供低噪声系数和非常高的性能的组合。这是具有低噪声应用的高速,高频,数字电路和微波电路的重要装置。这些应用程序包括计算,电信和仪表。该设备也用于RF设计,其中在非常高的RF频率下需要高性能。

高电子移动晶体管(HEMT)结构

用于构建HEMT的关键元件是专门的PN结。它被称为杂连接,并且由使用不同材料的连接点组成。而不是这一点P-n结,使用金属半导体结(反向偏置的肖特基屏障),其中肖特基屏障的简单性允许制造以关闭几何公差。


最常见的材料使用铝镓砷(Algaas)和砷化镓(GaAs)。通常使用砷化镓,因为它提供了高水平的基本电子迁移率,其具有比Si更高的摩泽性和载体漂移速度。

HEMT的示意横截面
HEMT的示意横截面

如下制造HEMT的过程,首先将砷化镓内部层设置在半绝缘镓砷层上。这只是厚的1微米厚。之后,在本层的顶部设定在固有铝镓砷化镓的30至60埃之间的非常薄的层。该层的主要目的是确保异质结界面与掺杂的铝镓砷区域的分离。

如果要实现高电子迁移率,这是非常关键的。大约500埃砷化铝砷化铝酰砷层的掺杂层被设置为下方,如下图所示。需要该层的精确厚度,并且控制该层的厚度所需的特殊技术。

存在两个主要结构,即自对子离子植入结构和凹陷栅极结构。在自对准离子植入结构中,栅极,漏极和源极置于栅极,漏极和源极,它们通常是金属触点,尽管源极和漏极接触有时可以由锗制成。门通常由钛制成,形成与GaAs-FET类似的微小反相结合。


对于凹陷栅极结构,设置另一层N型砷化镓,以使得能够进行漏极和源触点。如下图所示蚀刻区域。

由于FET的阈值电压仅由厚度确定,但栅极下方下方的厚度也非常关键。门的大小,因此通道非常小。为了保持高频性能,栅极的尺寸应通常为0.25微米或更小。

横截面图比较AlGaAs或GaAs Hemt和GaAs的结构
比较Algaas或GaAs HEMT和GaAs结构的横截面图

HEMT运作

HEMT的操作与其他类型的FET有点不同,结果,它能够通过标准交界处提供非常好的性能或MOS FET.,特别是在微波RF应用中。来自n型区域的电子通过晶格移动,许多电子仍然靠近杂连接。这些电子在层中仅是一层厚,形成如上图所示的二维电子气体(a)。

在该区域内,电子能够自由地移动,因为没有其他供体电子或其他物品,电子将碰撞并且气体中电子的迁移率非常高。施加到形成为肖特基势垒二极管的栅极的偏置电压用于调制由2d电子气体形成的通道中的电子的数量,并且连续地控制装置的导电性。可以通过栅极偏置电压改变通道的宽度。

HEMT的应用

  • 以前以前为高速应用开发了HEMT。由于其低噪声性能,它们广泛用于小信号放大器,功率放大器,振荡器和混合器,在高达60 GHz的频率下运行。
  • HEMT设备用于各种RF设计应用,包括蜂窝电信,直接广播接收器 - DBS,射频天文学,雷达(无线电检测和测距系统)主要用于任何RF设计应用程序,需要低噪声性能和非常高频的操作。
  • 如今血轮更常见于此集成电路。这些单片微波集成电路芯片(MMIC)广泛用于RF设计应用

HEMT的进一步发展是PHEMT(假形型高电子迁移率晶体管)。PHEMT广泛用于无线通信和LNA(低噪声放大器)应用。它们提供高功率效率和优异的低噪音数据和性能。

因此,这一切都是关于高电子迁移率晶体管(HEMT)建筑,其运行和应用。如果您对此主题或电气和电子项目有任何疑问,请留下下面的评论。2021欧洲杯足球竞猜官方平台

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